反滲透水處理設(shè)備（膜分離）技術(shù)的應(yīng)用使反滲透超純水設(shè)備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器得到了一次進步。近年來開始在國外推廣應(yīng)用的EDI（電去離子）技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產(chǎn)出高達18MΩ·CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業(yè)。國家經(jīng)委也已將RO + EDI 成套技術(shù)的應(yīng)用列入國家重點推廣范圍，對使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠.

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