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供應標題:薄膜應力測試儀
價格:電儀
發(fā)布公司:北京飛凱曼科技有限公司
供貨總量:10000
聯(lián)系人:趙經(jīng)理
發(fā)貨地點:北京 北京 昌平區(qū)
發(fā)布時間:2014年03月12日
有效期至:2015年03月12日
在線詢盤:在線詢盤
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:未計算
性能:玻璃檢測認證設備、安全檢測設備
用途:用于檢測玻璃安全和認證設備
英文名:Glass testing equipment
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北京飛凱曼科技公司提供薄膜應力測試儀。薄膜應力測試儀,又名薄膜殘余應力測試儀或薄膜應力儀,是專門用于測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的必不可少的工具。
薄膜中應力的大小和分布對薄膜的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)有重要的影響, 可導致薄膜的光、電、磁、機械性能改變. 例如, 薄膜中的應力是導致膜開裂或與基體剝離的主要因素, 薄膜中存在的殘余應力很多情況下影響MEMS 器件結(jié)構(gòu)的特性, 甚至嚴重劣化器件的性能, 薄膜的內(nèi)應力對薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此, 薄膜應力研究在薄膜基礎(chǔ)理論和應用研究中起到重要的作用, 薄膜應力的測量備受關(guān)注。再例如在硬質(zhì)薄膜領(lǐng)域,金屬氮化物、氧化物、碳化物等硬質(zhì)薄膜因具有優(yōu)越的耐磨、耐腐蝕等特性,被廣泛應用于金屬材料的防護.硬質(zhì)薄膜的主要制備方法包括物理氣相沉積和化學氣相沉積技術(shù).研究發(fā)現(xiàn),沉積態(tài)硬質(zhì)薄膜中存在較大的殘余應力,而且沿層深分布不均勻;該殘余應力對硬質(zhì)薄膜一基體系統(tǒng)的性能影響很大-lJ_準確地測量硬質(zhì)薄膜的殘余應力,系統(tǒng)研究它與沉積工藝的關(guān)系,對優(yōu)化硬質(zhì)薄膜基體系統(tǒng)的性能具有重要的意義.
本公司提供的薄膜應力測試儀
基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測量原理,采用先進控制技術(shù)和傻瓜化的操作,使得FST150薄膜應力測量儀特別適合于要求快速測量常規(guī)薄膜殘余應力。 根據(jù)我們科研工作者長期的扎實的理論研究和實際工藝探索,研制的一套適用于各種薄膜應力測試的裝置。近年來,經(jīng)過國內(nèi)知名院校和科研單位的實際使用和驗證,該儀器具有良好的重復性和準確性,是一款廣泛應用于各領(lǐng)域薄膜制備和材料研究的高性價比的儀器。
產(chǎn)品功能和特點:
自動采集分析數(shù)據(jù)功能;
自動掃查樣品邊緣,定位樣品中心;
自動計算出曲率半徑值和薄膜應力值;
對原始表面不平直的基片表面的薄膜,可采取原位測量的方式,計算薄膜應力值。
技術(shù)參數(shù):
1.原理:曲率法Stoney公式
2.薄膜應力測量范圍:5MPa到50GPa;
3.曲率半徑測試范圍:0.3-20m
4.曲率半徑測試誤差:﹤±1%
5.薄膜應力計算誤差:﹤±2%
6.測試平臺行程:X方向100mm,Y方向50mm
7.樣品尺寸:長方形樣品
8.樣品定位:自動定位原點
9.樣品校正:可計算校正原始表面不平直影響
10.主要功能:自動測量采集計算曲率半徑和薄膜應力
11.控制:獨立PC及控制軟件
12.儀器尺寸:1500x380x360mm
詳細信息請咨詢我們。
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