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應(yīng)用范圍
主要用于鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系,能夠?qū)崿F(xiàn)100層膜的超大型膜系鍍膜,也能滿足在樹脂鏡片上鍍制各種顏色的增透膜以及在太陽(yáng)鏡片上鍍制紅、黃、藍(lán)、綠等顏色的反光膜,還適用于裝飾品的鍍膜,如七彩等顏色。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
1、配置電子束蒸發(fā)及電阻蒸發(fā)系統(tǒng);
2、配置超大坩堝電子槍,整個(gè)蒸發(fā)過程中膜料表面平整,蒸發(fā)分布均勻;
3、配置石英晶體膜厚控制儀可實(shí)現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動(dòng)控制;
4、配置大功率離子源,膜厚質(zhì)量好;
5、總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,更符合工藝的要求,真空系統(tǒng)PLC自動(dòng)控制,操作方便。
型號(hào) ZS、ZZS-600 ZS、ZZS-800 ZS、ZZS-1000 ZS、ZZS-1200 ZS、ZZS-1380 結(jié)構(gòu)形式 箱式前開門后置抽氣系統(tǒng) 真空室 650×600×700 800×800×800 1000×1000×1200 ф1200×1200 ф1380×1250 較限壓力 5×10-4Pa 6.7×10-4Pa 恢復(fù)真空時(shí)間 從1×105Pa抽至5×10-3Pa ≤ 20min 電 270Oe型槍 加速電壓(KV) 6,10 數(shù)量(套) 1 1,根據(jù)用戶需要可安裝2套 坩堝容積 20ml×4槽 22ml×4槽 功率(kW) 6 10 電 電阻蒸源 電壓(V)5,10 功率(kW) 2.5 2×2.5 2×5 水冷電較數(shù)量 2 對(duì)(交替蒸發(fā)) 2 對(duì)(同時(shí)蒸發(fā)) 工件架類型及尺 拱型夾具 拱型夾具ф740, 拱型夾具ф950, 拱型夾具 拱型夾具 烘 烤 功率(kW) 4.5 9 13.5 溫度℃ 350 數(shù)顯自動(dòng)控溫 離子 轟擊 電壓(V) 3000 電流(mA) 300 真空系統(tǒng)配置 KT-400擴(kuò)散泵2X-70,2X-4 KT-600擴(kuò)散泵 KT-600擴(kuò)散泵 KT-600 擴(kuò)散泵 KT-800擴(kuò)散泵 光學(xué)膜控控儀 垂真光路,透、反射控制,波長(zhǎng)400nm-700nm 水冷系統(tǒng) 水壓(kpa) 約2.5×102 水溫(℃) < 25 壓縮空氣(kpa) (4-6)×102 總功率(kW) 26 36 56 60 65
光學(xué)鍍膜設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
(寬×深×高)mm
子
束
蒸
發(fā)
源
阻
蒸
發(fā)
源
(mm)
ф580
星型夾具ф420×3
任選一種
星型夾具ф650×3
任選一種
ф1100
ф1250
機(jī)械泵
ZJ-600 羅茨泵
2X-70,2X-15
機(jī)械泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵
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