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光學(xué)鍍膜設(shè)備

來源：廣東中環(huán)真空泵設(shè)備廠有限公司 2010/7/25 0:00:00

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應(yīng)用范圍
     主要用于鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系，能夠?qū)崿F(xiàn)100層膜的超大型膜系鍍膜，也能滿足在樹脂鏡片上鍍制各種顏色的增透膜以及在太陽(yáng)鏡片上鍍制紅、黃、藍(lán)、綠等顏色的反光膜，還適用于裝飾品的鍍膜，如七彩等顏色。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
1、配置電子束蒸發(fā)及電阻蒸發(fā)系統(tǒng)；
2、配置超大坩堝電子槍，整個(gè)蒸發(fā)過程中膜料表面平整，蒸發(fā)分布均勻；
3、配置石英晶體膜厚控制儀可實(shí)現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動(dòng)控制；
4、配置大功率離子源，膜厚質(zhì)量好；
5、總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，更符合工藝的要求，真空系統(tǒng)PLC自動(dòng)控制，操作方便。

光學(xué)鍍膜設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

ZS、ZZS-600

ZS、ZZS-800

ZS、ZZS-1000

ZS、ZZS-1200

ZS、ZZS-1380

結(jié)構(gòu)形式

箱式前開門后置抽氣系統(tǒng)

真空室
（寬×深×高）mm

650×600×700

800×800×800

1000×1000×1200

ф1200×1200

ф1380×1250

較限壓力

5×10-4Pa

6.7×10-4Pa

恢復(fù)真空時(shí)間

從1×105Pa抽至5×10-3Pa ≤ 20min

電
子
束
蒸
發(fā)
源

270Oe型槍

加速電壓(KV) 6,10

數(shù)量（套）

1

1,根據(jù)用戶需要可安裝2套

坩堝容積

20ml×4槽

22ml×4槽

功率(kW)

6

10

電
阻
蒸
發(fā)
源

電阻蒸源

電壓（V）5,10

功率（kW）

2.5

2×2.5

2×5

水冷電較數(shù)量

2 對(duì)（交替蒸發(fā)）

2 對(duì)（同時(shí)蒸發(fā)）
 

工件架類型及尺
（mm）

拱型夾具
ф580

拱型夾具ф740,
星型夾具ф420×3
任選一種

拱型夾具ф950,
星型夾具ф650×3
任選一種

拱型夾具
ф1100

拱型夾具
ф1250

烘

烤

功率(kW)

4.5

9

13.5

溫度℃

350 數(shù)顯自動(dòng)控溫

離子

轟擊

電壓(V)

3000

電流(mA)

300

真空系統(tǒng)配置

KT-400擴(kuò)散泵2X-70,2X-4
機(jī)械泵

KT-600擴(kuò)散泵
ZJ-600 羅茨泵
2X-70，2X-15
機(jī)械泵

KT-600擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150，2X-15
機(jī)械泵

KT-600 擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵

KT-800擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵

光學(xué)膜控控儀

垂真光路,透、反射控制，波長(zhǎng)400nm-700nm

水冷系統(tǒng)

水壓(kpa)

約2.5×102

水溫(℃)

＜ 25

壓縮空氣（kpa）

(4-6)×102

總功率（kW）

26

36

56

60

65

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